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    “中国芯”关键材料国产化

    氯代叔丁烷（TBCl）
    • 英文名: 2-Chloro-2-methylpropane (简称TBCl）
    • 熔点: -25℃
    • 沸点: 51-52℃
    • 蒸气压: 0.32kPa(20℃)
    • 存储温度： 安全温度≤45℃，建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    1-己烯（Hexene)
    • 英文名: 1-Hexene (简称Hexene）
    • 熔点: -140℃
    • 沸点: 60-66℃
    • 蒸气压: 413.3 hPa （37.7℃）
    • 存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Electronic Grade
    全氟癸基三氯硅烷（FDTS)
    • 英文名: 1H,1H,2H,2H-Perfluorodecyltrichlorosilane(简称FDTS）
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 224℃
    • 蒸气压: 无资料
    • 存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    1,2-二(三氯甲硅基)乙烷（BTCSE)
    • 英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (简称BTCSE）
    • 熔点: 28℃
    • 沸点: 202℃
    • 蒸气压: 0.492mmHg at 25℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    叔丁基膦（TBP）
    • 英文名: Tertiarybutylphosphine (简称TBP）
    • 熔点: 4℃
    • 沸点: 54℃
    • 蒸气压: lgp(Torr) = 7.552-1529/T(K)
    • 存储温度: 安全温度≤37℃
    • 产品等级: Adduct
    四氯化铪（HfCl?)
    • 英文名: Hafnium(IV) chloride (简称HfCl?）
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 46℃
    • 升华温度：319℃
    • 蒸气压: 1mm Hg(190℃)
    • 存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    三氯化铝（AlCl?)
    • 英文名: Aluminium chloride
    • 熔点: 194℃
    • 沸点: 180℃
    • 蒸气压: 133.3Pa(99℃); 13.3KPa(151℃)
    • 储存温度：未体现
    • 产品等级: Adduct
    四（甲乙氨基）锆（TEMAZ）
    • 英文名: Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium（简称TEMAZ）
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 81℃ (0.1hPa)
    • 蒸气压: 1 Torr at 70℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
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