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    “中国芯”关键材料国产化

    稀释剂（Thinner）
    稀释剂（Thinner）
    • 中文名：稀释剂
    • 英文名：Thinner
    • CAS号：107-98-2 108-65-6
    • 熔点：<-10℃
    • 沸点：121℃~140℃
    • 蒸气压：10.9 mm Hg(25℃)
    • 产品等级：UP级、UP-S级
    • 规格：1加仑/200L/11m3槽车
    六甲基二硅氮烷（HMDS）
    六甲基二硅氮烷（HMDS）
    • 中文名：六甲基二硅氮烷
    • 英文名：Hexamethyldisilazane
    • CAS号：999-97-3
    • 熔点：-78℃
    • 沸点：125℃
    • 蒸气压：20 hPa (20℃)
    • 产品等级：UP-S级
    • 规格：1加仑/200L/11m3槽车
    193nm ArF光刻胶
    193nm ArF光刻胶
    • 量产筹备中 敬请期待
    • · 193nm ArF光刻胶已通过存储、逻辑两家芯片制造企业验证，成为国内首个通过验证的ArF光刻胶产品
    • · 2021年建党100周年前夕，顺利通过国家“02-专项”验收
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