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    “中国芯”关键材料国产化

    磷烷安全源(PH? AGS)
    • 中文名：磷烷安全源
    • 英文名：Phosphine AGS
    • CAS号：7803-51-2
    • 熔点：-133℃
    • 沸点：-87.7℃
    • 蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
    • 产品等级：5N7
    • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氢(AsH?)
    • 中文名：砷化氢
    • 英文名：Arsine
    • CAS号：07784-42-1
    • 熔点：-116℃
    • 沸点：-62.5℃
    • 蒸气压：1463kPa(20℃)
    • 产品等级：6N、6N5
    • 规格：40L
    三氟化硼安全源(BF? AGS)
    • 中文名：三氟化硼安全源
    • 英文名：Boron Trifluoride AGS
    • CAS号：07784-42-1
    • 熔点：-126.8℃
    • 沸点：-100℃
    • 蒸气压：1013.25kPa(-58℃)
    • 产品等级：3N
    • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氢(PH?)
    • 中文名：磷化氢
    • 英文名：Phosphine
    • CAS号：7803-51-2
    • 熔点：-133℃
    • 沸点：-87.7℃
    • 蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
    • 产品等级：6N、6N5
    • 规格：44L
    安全源砷烷(AsH? AGS)
    • 中文名：砷烷安全源
    • 英文名：Arsine AGS
    • CAS号：07784-42-1
    • 熔点：-116℃
    • 沸点：-62.5℃
    • 蒸气压：1463kPa(20℃)
    • 产品等级：5N5
    • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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